• Überblick

    Flyer - Komponentenmatrix

    Zu den Tischperipherien gehören alle Maschinenmodule, die nicht bewegt werden, so wie die in der Abbildung dargestellte Rakelstation. Alle Tischmodule werden anwendungsspezifisch im Verfahrbereich des Kopfes so angeordnet, dass der verfügbare Platz optimal ausgenutzt wird.

    Zu den Tischmodulen zählen nach oben gerichtete Kamera- und Höhenmesssysteme, Kalibrier- und Reinigungseinheiten, Transportbänder und -shuttles, Zu-/Wegführeinheiten, Substrataufnahmen, und viele mehr.

  • Komplexität

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    Schnelle Prozesse erfordern einerseits kurze Verfahrwege und andererseits die Möglichkeit, auf kleinstem Raum mehrere Prozessschritte abbilden zu können. Unsere Tischmodule arbeiten nicht nur sehr zuverlässig, sondern sind auch extrem kompakt gebaut.

    Alle motorisierten Tischmodule werden mit einer Echtzeitsteuerung über geschlossene Regelkreise kontrolliert und geregelt. Somit können die Fertigungsprozesse stark parallelisiert und unnötige Wartezeiten vermieden werden.

  • 3D-Prozesse

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    Die Freiheitsgrade unserer Tischperipherien beschränken sich nicht auf den zweidimensionalen Raum. Vielmehr lassen sich zum Beispiel Werkstücke wie 3D-MID Baugruppen zum Dosieren und Bestücken in eine beliebige Lage drehen.

    Zu dieser Thematik zählen auch das beliebige Drehen, Wenden und Rotieren von Werkstücken um beispielsweise eine Dosierraupe rundum aufzutragen.

  • Planparallelität

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    In vielen Anwendungen der Mikroelektronik und Halbleitertechnik ist es essenziell, dass Bauteil und Substrat absolut planparallel ausgerichtet sind. Unter den Tischperipherien bieten wir eine Vielzahl an Modulen an, welche die Ebenen der Kopf- und der Tischperipherie automatisch planparallel ausrichtet. Typische Anwendungen dafür sind das Eutektische Bonden von VCSEL Dioden auf ihren Submount oder generell das Bestücken von grossen Halbleiterchips wie Imagesensoren in ihre Gehäuse.

  • Autonomie

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    Zur Steigerung der Autonomie unserer Anlagen wurden viele der Tischperipherien zur Reinigung, Kalibrierung, Prozessüberwachung oder dem automatischen Werkzeugwechsel (Beispiel in der Abbildung) entwickelt. Die Infotech Komponentenmatrix unterstützt dabei unserer Philosophie, dass ein Anlagenbediener keinen Einfluss auf die Prozessqualität haben kann. Das heisst, die Prozessrelevanten Funktionen müssen über einen möglichst langen Zeitraum automatisch und selbstkontrollierend erfolgen.


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